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隨著環保政策的逐步收緊，環保設施安全問題已經成為了大部分工業企業面對的一個重要風險，特別是廢氣VOCs裝置系統的防爆安全，如RTO等焚燒裝置。RTO在正常工況下不易發生火災、爆炸事故。但由于廢氣成分復雜多變、濃度波動大，易造成焚燒爐運行穩定性較差，存在一定的安全隱患。目前的揮發性有機污染物的治理包括破壞性，非破壞性方法，及這兩種方法的組合。

破壞性的方法包括燃燒、生物氧化、熱氧化、光催化氧化，低溫等離子體及其集成的技術，主要是由化學或生化反應，用光，熱，微生物和催化劑將VOCs轉化成CO2和H2O等無毒無機小分子化合物。

非破壞性法，即回收法，主要是碳吸附、吸收、冷凝和膜分離技術，通過物理方法，控制溫度，壓力或用選擇性滲透膜和選擇性吸附劑等來富集和分離揮發性有機化合物。

傳統的揮發性廢氣處理常用吸收、吸附法去除，燃燒去除等，在最近幾年中，半導體光催化劑的技術體，低溫等離子得到了迅速發展。